半导体制造洁净厂房对温度,湿度有要求,一般是温度22~28 湿度45~60.我想问下为什么?

来源：学生作业帮编辑：搜狗做题网作业帮分类：综合作业时间：2024/05/02 11:06:00

半导体制造洁净厂房对温度,湿度有要求,一般是温度22~28 湿度45~60.我想问下为什么?
不要简单回答什么ESD控制之类的我要原理

主要有两个方面的原因：一是保证半导体表面的清洁度,以免水汽等的沾污；二是工艺要求,要保证半导体表面干燥,以免涂胶时产生胶膜脱落等.

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