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复杂面磁控溅射镀膜厚度能一致吗?

来源:学生作业帮 编辑:搜狗做题网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/28 05:26:56
复杂面磁控溅射镀膜厚度能一致吗?
复杂面磁控溅射镀膜厚度能一致吗?
磁控溅射很难达到一致,镀膜时溅射的分子级微粒大部分是直接从靶材射到工件上的,如果有凹陷或者突起,斜面上厚度小于平面,这个是无法避免的,好像蒸发镀膜方式,采用游星回转方式会好很多.