电感式、电磁感应式、电涡流式位移传感器?

电感式、电磁感应式、电涡流式位移传感器?
请详细说说这三个位移传感器的概念和异同点?那个精度高些?

电感式传感器
inductance type transducer
电感式传感器是利用电磁感应把被测的物理量如位移,压力,流量,振动等转换成线圈的自感系数和互感系数的变化,再由电路转换为电压或电流的变化量输出,实现非电量到电量的转换.
电感式传感器具有以下特点：
（1）结构简单,传感器无活动电触点,因此工作可靠寿命长.
（2）灵敏度和分辨力高,能测出0.01微米的位移变化.传感器的输出信号强,电压灵敏度一般每毫米的位移可达数百毫伏的输出.
（3）线性度和重复性都比较好,在一定位移范围（几十微米至数毫米）内,传感器非线性误差可达0.05%~0.1%.同时,这种传感器能实现信息的远距离传输、记录、显示和控制,它在工业自动控制系统中广泛被采用.但不足的是,它有频率响应较低,不宜快速动态测控等缺点.
电感式传感器种类很多,常见的有自感式,互感式和涡流式三种.
图中介绍的是自感式传感器.由铁心和线圈构成的将直线或角位移的变化转换为线圈电感量变化的传感器,又称电感式位移传感器.这种传感器的线圈匝数和材料导磁系数都是一定的,其电感量的变化是由于位移输入量导致线圈磁路的几何尺寸变化而引起的.当把线圈接入测量电路并接通激励电源时,就可获得正比于位移输入量的电压或电流输出.电感式传感器的特点是：①无活动触点、可靠度高、寿命长；②分辨率高；③灵敏度高；④线性度高、重复性好；⑤测量范围宽（测量范围大时分辨率低）；⑥无输入时有零位输出电压,引起测量误差；⑦对激励电源的频率和幅值稳定性要求较高；⑧不适用于高频动态测量.电感式传感器主要用于位移测量和可以转换成位移变化的机械量（如力、张力、压力、压差、加速度、振动、应变、流量、厚度、液位、比重、转矩等）的测量.常用电感式传感器有变间隙型、变面积型和螺管插铁型.在实际应用中,这三种传感器多制成差动式,以便提高线性度和减小电磁吸力所造成的附加误差.
变间隙型电感传感器 这种传感器的气隙δ随被测量的变化而改变,从而改变磁阻（图1）.它的灵敏度和非线性都随气隙的增大而减小,因此常常要考虑两者兼顾.δ一般取在0.1～0.5毫米之间.
变面积型电感传感器 这种传感器的铁芯和衔铁之间的相对覆盖面积（即磁通截面）随被测量的变化而改变,从而改变磁阻（图2）.它的灵敏度为常数,线性度也很好.
螺管插铁型电感传感器 它由螺管线圈和与被测物体相连的柱型衔铁构成.其工作原理基于线圈磁力线泄漏路径上磁阻的变化.衔铁随被测物体移动时改变了线圈的电感量.这种传感器的量程大,灵敏度低,结构简单,便于制作.
磁传感器是最古老的传感器,指南针是磁传感器的最早的一种应用.但是作为现代的传感器,为了便于信号处理,需要磁传感器能将磁信号转化成为电信号输出.应用最早的是根据电磁感应原理制造的磁电式的传感器.这种磁电式传感器曾在工业控制领域作出了杰出的贡献,但是到今天已经被以高性能磁敏感材料为主的新型磁传感器所替代.
一款电磁传感器的外形
在今天所用的电磁效应的传感器中,磁旋转传感器是重要的一种.磁旋转传感器主要由半导体磁阻元件、永久磁铁、固定器、外壳等几个部分组成.典型结构是将一对磁阻元件安装在一个永磁体的刺激上,元件的输入输出端子接到固定器上,然后安装在金属盒中,再用工程塑料密封,形成密闭结构,这个结构就具有良好的可靠性.磁旋转传感器有许多半导体磁阻元件无法比拟的优点.除了具备很高的灵敏度和很大的输出信号外,而且有很强的转速检测范围,这是由于电子技术发展的结果.另外,这种传感器还能够应用在很大的温度范围中,有很长的工作寿命、抗灰尘、水和油污的能力强,因此耐受各种环境条件及外部噪声.所以,这种传感器在工业应用中受到广泛的重视.
磁旋转传感器在工厂自动化系统中有广泛的应用,因为这种传感器有着令人满意的特性,同时不需要维护.其主要应用在机床伺服电机的转动检测、工厂自动化的机器人臂的定位、液压冲程的检测、工厂自动化相关设备的位置检测、旋转编码器的检测单元和各种旋转的检测单元等.
现代的磁旋转传感器主要包括有四相传感器和单相传感器.在工作过程中,四相差动旋转传感器用一对检测单元实现差动检测,另一对实现倒差动检测.这样,四相传感器的检测能力是单元件的四倍.而二元件的单相旋转传感器也有自己的优点,也就是小巧可靠的特点,并且输出信号大,能检测低速运动,抗环境影响和抗噪声能力强,成本低.因此单相传感器也将有很好的市场.
磁旋转传感器在家用电器中也有大的应用潜力.在盒式录音机的换向机构中,可用磁阻元件来检测磁带的终点.家用录像机中大多数有变速与高速重放功能,这也可用磁旋转传感器检测主轴速度并进行控制,获得高画面的质量.洗衣机中的电机的正反转和高低速旋转功能都可以通过伺服旋转传感器来实现检测和控制.
电磁接近开关
这种开关可以感应到进入自己检验区域的金属物体,控制自己内部电路的开或关.开关自己产生磁场,当有金属物体进入到磁场会引起磁场的变化.这种变化通过开关内部电路可以变成电信号.
电磁传感器是一门应用很广的高新技术,国内、国外都投入了一定的科研力量在进行研究,这种传感器的应用正在渗透入国民经济、国防建设和人们日常生活的各个领域,随着信息社会的到来,其地位和作用必将更加突出.
电涡流传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离.它是一种非接触的线性化计量工具.电涡流传感器能准确测量被测体（必须是金属导体）与探头端面之间静态和动态的相对位移变化.在高速旋转机械和往复式运动机械的状态分析,振动研究、分析测量中,对非接触的高精度振动、位移信号,能连续准确地采集到转子振动状态的多种参数.如轴的径向振动、振幅以及轴向位置.在所有与机械状态有关的故障征兆中,机械振动测量是最具权威性的,这是因为它同时含有幅值、相位和频率的信息.机械振动测量占有优势的另一个原因是：它能反应出机械所有的损坏,并易于测量.从转子动力学、轴承学的理论上分析,大型旋转机械的运动状态,主要取决于其核心—转轴,而电涡流传感器,能直接非接触测量转轴的状态,对诸如转子的不平衡、不对中、轴承磨损、轴裂纹及发生摩擦等机械问题的早期判定,可提供关键的信息.电涡流传感器以其长期工作可靠性好、测量范围宽、灵敏度高、分辨率高、响应速度快、抗干扰力强、不受油污等介质的影响、结构简单等优点,在大型旋转机械状态的在线监测与故障诊断中得到广泛应用.
电涡流传感器的典型应用：
电涡流传感器系统广泛应用于电力、石油、化工、冶金等行业和一些科研单位.对汽轮机、水轮机、鼓风机、压缩机、空分机、齿轮箱、大型冷却泵等大型旋转机械轴的径向振动、轴向位移、键相器、轴转速、胀差、偏心、以及转子动力学研究和零件尺寸检验等进行在线测量和保护.